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是一種基于硅壓阻效應(yīng)的MEMS壓力傳感器開關(guān)。壓力芯片采用硅微加工工藝制作而成，待測壓力作用于硅膜片背面；壓力芯片和鍵合引線采用硅膠保護(hù)。在可承受的壓力范圍內(nèi)，壓力傳感器輸出與壓力成線性比例的電壓信號(hào)；監(jiān)測濾芯器內(nèi)部氣壓，在達(dá)到目標(biāo)警報(bào)壓力點(diǎn)時(shí)，開關(guān)閉合，產(chǎn)生報(bào)警信號(hào)；在寬溫度范圍內(nèi)（-40至+125℃）傳感器電路提供精確穩(wěn)定的信號(hào)輸出和溫度補(bǔ)償。