機(jī)油壓力傳感器
應(yīng)用領(lǐng)域
測(cè)試發(fā)動(dòng)機(jī)機(jī)油壓力
是一種基于硅壓阻效應(yīng)的MEMS壓力傳感器。壓力芯片采用硅微加工工藝制作而成,待測(cè)壓力作用于硅膜片背面,硅膜片正面與玻璃基體間為參考真空;壓力芯片和鍵合引線采用硅膠保護(hù)。在可承受的壓力范圍內(nèi),壓力傳感器輸出與壓力成線性比例的電壓信號(hào);在寬溫度范圍內(nèi)(-40至+125℃)傳感器電路提供精確穩(wěn)定的信號(hào)輸出和溫度補(bǔ)償。