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是一種基于硅壓阻效應(yīng)的MEMS壓力傳感器。壓力芯片采用硅微加工工藝制作而成，待測壓力作用于硅膜片背面，硅膜片正面與玻璃基體間為參考真空；壓力芯片和鍵合引線采用硅膠保護(hù)。在可承受的壓力范圍內(nèi)，壓力傳感器輸出與壓力成線性比例的電壓信號；在寬溫度范圍內(nèi)（-40至+125℃）傳感器電路提供精確穩(wěn)定的信號輸出和溫度補(bǔ)償，為燃?xì)獗磔敵鼍珳?zhǔn)的壓力值和溫度值。