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尿素壓力傳感器是一種基于介質(zhì)隔離技術(shù)的MEMS壓力傳感器，通過(guò)真空充油技術(shù)實(shí)現(xiàn)完全的介質(zhì)隔離，滿足腐蝕環(huán)境下的使用要求。
壓力傳感器是一種基于硅壓阻效應(yīng)， 采用 CMOS 技術(shù)與 MEMS 混
壓力傳感器是一種基于硅壓阻效應(yīng)， 采用 CMOS 技術(shù)與 MEMS 混
是一種基于硅壓阻效應(yīng)的MEMS壓力傳感器開(kāi)關(guān)。壓力芯片采用硅微加工工藝制作而成，待測(cè)壓力作用于硅膜片背面；壓力芯片和鍵合
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